XYスキャナ：

• 閉ループ制御式シングルモジュールフレキシブルXYスキャナ。
• 走査範囲：50μm×50μm（オプションで100μm×100μm）
• 解像度:0.05 nm
• 位置決め検出ノイズ：<0.3 nm（帯域幅：1 kHz)
• 水平線形：<2 nm（over 40μm scan）

Zスキャナ：

• フレキシブルブートハイパワースキャナ
• スキャン範囲：15μm（オプション30μm）
• 分解能：0.015 nm
• 位置検出ノイズ：0.03 nm（帯域幅：1 kHz)
• 共振周波数：＞9 kHz (typically 10.5 kHz)
• 表面イメージングノイズ：<0.03 nm (0.02 nm typical)

光学系：

• 試料とプローブを観察できる直視同軸光学系
• 視野：480 × 360 μm (10× objective lens)
• CCD：1 M画素（画素解像度：0.4 μm）

対物レンズ：

• 10 x（0.21 NA）超長動作範囲のレンズ（1μm解像度）
• 20 x（0.42 NA）高解像度長動作範囲レンズ（0.6μm解像度）

信号処理：

• ADC: 18チャネル
• 4つの高速ADCチャネル（50 MSPS）
• X，YおよびZスキャナ位置決めセンサの24 bit ADCs
• DAC: 12チャネル
• 2つの高速DACチャネル（50 MSPS）
• X，YおよびZスキャナが位置決めする20-bit DACs
• ビッグデータサイズ：4096 x 4096ピクセル

統合機能：

• 3チャネルディジタル位相同期増幅器
• ねつざつおんほうしきだんせいけいすう
• デジタルQ制御

外部信号介入：

• 20個の埋め込み信号入出力ポート
• 5つのTTL出力：EOF，EOL，EOP，ModulationおよびAC bias

原子間力顕微鏡 原子間力顕微鏡